保障產(chǎn)品質量：單晶硅生產(chǎn)對環(huán)境潔凈度要求極高。在制造 64k 單元的存貯器時，3 - 4 平方厘米面積的半導體材料上約有 15 萬個元件，只要在相鄰二條線之間落下 1 - 2 微米灰塵，就會造成短路而成為不合格產(chǎn)品。自潔式空氣過濾器能去除粒徑在 1μm 甚至更小的顆粒，過濾效率通常可達 99% 以上，可有效過濾空氣中的塵埃、顆粒等雜質，為單晶硅生產(chǎn)提供潔凈的空氣環(huán)境，防止灰塵等污染物落在單晶硅產(chǎn)品上，避免產(chǎn)品出現(xiàn)缺陷，提高產(chǎn)品的良品率。

保護生產(chǎn)設備：單晶硅生產(chǎn)過程中使用的許多設備，如單晶爐、切片機等，對空氣的潔凈度和質量有較高要求。空氣中的灰塵、雜質等會進入設備內(nèi)部，導致設備磨損、堵塞管道、影響散熱等問題，降低設備的性能和使用壽命，增加設備的維護成本和停機時間。自潔式空氣過濾器可安裝在這些設備的進氣口處，對進入設備的空氣進行過濾和凈化，保護設備不受污染，確保設備的正常運行，延長設備的使用壽命。

維持生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定：單晶硅生產(chǎn)車間通常要求保持一定的溫度、濕度和潔凈度。自潔式空氣過濾器可以與車間的空調(diào)系統(tǒng)、通風系統(tǒng)等配合使用，過濾進入車間的新鮮空氣，去除其中的灰塵、雜質和有害氣體，同時防止車間內(nèi)的灰塵和污染物擴散，維持車間內(nèi)的空氣潔凈度和環(huán)境穩(wěn)定性，為工作人員提供良好的工作環(huán)境，保障生產(chǎn)過程的順利進行。

過濾過程：含塵空氣從過濾器的進風口進入，經(jīng)過過濾元件。過濾元件通常采用多孔的濾料，如玻璃纖維、合成纖維等，這些濾料具有微小的孔隙。當空氣通過濾料時，灰塵顆粒由于慣性、擴散、攔截等作用被截留在濾料表面和孔隙中，而干凈的空氣則穿過濾料，從出風口排出，從而實現(xiàn)對空氣的過濾凈化。

自潔過程：隨著過濾過程的進行，濾料表面會逐漸積累灰塵，導致過濾阻力增加。當阻力達到一定設定值時，脈沖反吹系統(tǒng)開始工作。脈沖反吹系統(tǒng)通過壓縮空氣，在極短的時間內(nèi)（通常為 0.1 - 0.2 秒）向過濾元件內(nèi)部噴射高壓空氣。高壓空氣形成的脈沖氣流使濾料瞬間膨脹和收縮，從而使附著在濾料表面的灰塵顆粒脫落。脫落的灰塵在重力作用下掉入集塵斗，然后被排出過濾器。通過這種定期的脈沖反吹自潔方式，過濾器能夠保持穩(wěn)定的過濾性能，持續(xù)有效地過濾空氣。

控制過程：控制系統(tǒng)負責監(jiān)測過濾器的工作狀態(tài)，如進出口壓差、過濾時間等參數(shù)。當進出口壓差達到設定的上限值，或者過濾時間達到設定的周期時，控制系統(tǒng)會發(fā)出指令，啟動脈沖反吹系統(tǒng)進行自潔操作。一些先進的自潔式空氣過濾器還具備智能化的控制功能，可以根據(jù)實際的灰塵負載情況自動調(diào)整反吹的頻率和強度，以達到最佳的自潔效果和節(jié)能目的。